Name: The Physics of Microfabrication (en Inglés)
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Author: Brodie, Ivor ; Muray, Julius J.
ISBN: 9781489921628

portada The Physics of Microfabrication (en Inglés)

The Physics of Microfabrication (en Inglés)

Formato

Libro Físico

Autor

Ivor Brodie

Julius J. Muray

Editorial

Springer

Idioma

Inglés

N° páginas

504

Encuadernación

Tapa Blanda

Dimensiones

23.4x15.6x2.7 cm

Peso

0.73 kg.

ISBN13

9781489921628

Categorías

Ingeniería eléctrica
Ingeniería electrónica
Óptica aplicada

The Physics of Microfabrication (en Inglés)

Ivor Brodie (Autor) · Julius J. Muray (Autor) · Springer · Tapa Blanda

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Reseña del libro "The Physics of Microfabrication (en Inglés)"

The Physical Electronics Department of SRI International (formerly Stanford Research Institute) has been pioneering the development of devices fabricated to submicron tolerances for well over 20 years. In 1961, a landmark paper on electron-beam lithography and its associated technologies was published by K. R. Shoulderst (then at SRI), which set the stage for our subsequent efforts in this field. He had the foresight to believe that the building of such small devices was actually within the range of human capabilities. As a result of this initial momentum, our experience in the technologies associated with microfabrication has become remarkably comprehensive, despite the relatively small size of our research activity. We have frequently been asked to deliver seminars or provide reviews on various aspects of micro- fabrication. These activities made us aware of the need for a comprehensive overview of the physics of microfabrication. We hope that this book will fill that need.