Name: Temperature Measurement During Millisecond Annealing de Denise Reichel(Springer) (en Inglés)
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Author: Reichel Denise
ISBN: 9783658113872

portada Temperature Measurement During Millisecond Annealing de Denise Reichel(Springer) (en Inglés)

Temperature Measurement During Millisecond Annealing de Denise Reichel(Springer) (en Inglés)

Formato

Libro Físico

Editorial

Springer

Autor

Reichel Denise

Idioma

Inglés

Encuadernación

Tapa Blanda

ISBN13

9783658113872

Temperature Measurement During Millisecond Annealing de Denise Reichel(Springer) (en Inglés)

Reichel Denise (Autor) · Springer · Tapa Blanda

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Reseña del libro "Temperature Measurement During Millisecond Annealing de Denise Reichel(Springer) (en Inglés)"

Denise Reichel studies the delicate subject of temperature measurement during lamp-based annealing of semiconductors, in particular during flash lamp annealing. The approach of background-correction using amplitude-modulated light to obtain the sample reflectivity is reinvented from rapid thermal annealing to apply to millisecond annealing. The author presents a new method independent of the lamp operation to obtain this amplitude modulation and derives a formula to describe the process. Further, she investigates the variables of the formula in depth to validate the method's suitability for background-corrected temperature measurement. The experimental results finally proof its power for elevated temperatures.