Name: shape and functional elements of the bulk silicon microtechnique: a manual of wet-etched silicon structures (en Inglés)
SKU: 24880242
Price: 2017.30 MXN
Availability: InStock
Author: Frühauf, Joachim
ISBN: 9783642060489

portada shape and functional elements of the bulk silicon microtechnique: a manual of wet-etched silicon structures (en Inglés)

shape and functional elements of the bulk silicon microtechnique: a manual of wet-etched silicon structures (en Inglés)

Formato

Libro Físico

Autor

Joachim Frühauf

Editorial

Springer

Año

2010

Idioma

Inglés

N° páginas

222

Encuadernación

Tapa Blanda

Dimensiones

23.4x15.6x1.3 cm

Peso

0.34 kg.

ISBN

364206048x

ISBN13

9783642060489

Categorías

Química industrial e ingeniería química
Ingeniería electrónica
Óptica aplicada

shape and functional elements of the bulk silicon microtechnique: a manual of wet-etched silicon structures (en Inglés)

Joachim Frühauf (Autor) · Springer · Tapa Blanda

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Reseña del libro "shape and functional elements of the bulk silicon microtechnique: a manual of wet-etched silicon structures (en Inglés)"

Technological Basis of Bulk-Silicon-Microtechnique.- Orientation Dependent Etching of Silicon.- General Overview of the Shape- and Functional Elements and the Procedure of their Design.- Simple Shape Elements.- Elements for Mechanical Applications.- Elements for Fluidic Applications.- Elements for Optical Applications.