Name: high-k/metal-gate devices for future cmos technology
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Author: stephan abermann
ISBN: 9783836465298

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portada high-k/metal-gate devices for future cmos technology

high-k/metal-gate devices for future cmos technology

Formato

Libro Físico

Editorial

vdm verlag

Autor

stephan abermann

N° páginas

180

ISBN

3836465299

ISBN13

9783836465298

Categorías

Tecnología de la información: cuestiones generales

high-k/metal-gate devices for future cmos technology

Stephan Abermann (Autor) · vdm verlag · Libro Físico

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Reseña del libro "high-k/metal-gate devices for future cmos technology"

the present work addresses the investigation of high-? dielectrics and their applicability in cmos-devices, using metal-gate electrodes. the contents firstly include the deposition of zirconium dioxide and hafnium dioxide from the gas phase, using org ...